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工艺菜单定制

可根据客户需求，开发如自旋、超导量子、MEMS等领域的薄膜工艺菜单： 自旋磁性多层膜：PMA、TMR等； 超导量子：Nb、NbN、约瑟夫森结等； MEMS: AlN、ZnO等 。