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CT1322

特点： 半导体：专为6英寸以上的工艺
工艺：LPCVD Nitride/
LPCVD TEOS

规格： 进口旋流类型
总容积 22升^DN40
材质：SUS304L 重量：27公斤
10-7Mbar检漏

此Trap的设计是为了在泵的排气后捕捉可冷凝的副产物。 由于内部水冷叶片提供了一个大的热交换表面，从泵出的热流被冷却下来。 当目标气体变成固体时，内部温度下降到一个理想的值。 这将使废气无冷凝，减少了管路和尾气处理器的维护频率。