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HT1207

特点: 半导体:专为6/8英寸工艺
工艺:Ta2O5(Tanox)CVD上的
AMAT Centura,ALD(Al2O3,TiN

规格: 加热不锈钢类型
总容积 7升^DN100
材质:SUS304 重量:17公斤
10-7Mbar检漏

此Trap被设计成一个燃烧室,以分解从燃烧室流出的未反应的气体。 没有这个Trap,特气将直接在泵内运行,导致固体副产物污染。 内部不锈钢提供了一个大的表面,在那里,将反应的产物将沉积。 因此,在此Trap内经历了完全成分变化的气体流入泵之后,将更容易被处理,提高泵使用寿命。