此Trap被设计成一个燃烧室,以分解从燃烧室流出的未反应的气体。 没有这个Trap,特气将直接在泵内运行,导致固体副产物污染。 内部不锈钢提供了一个大的表面,在那里,将反应的产物将沉积。 因此,在此Trap内经历了完全成分变化的气体流入泵之后,将更容易被处理,提高泵使用寿命。