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MT1025

特点： 半导体：专为6英寸以上的工艺
工艺：SACVD，PECVD
/用于回旋效应的水平入口
/可能的现场维修

规格： 进口旋流类型
总容积：25升^DN100
材质：SUS304 重量：37公斤
10-7Mbar检漏

此Trap的原理是基于气旋效应。 泵体的气体排出至Trap，内部挡板迫使流动围绕排气旋转。 由于离心力的作用，颗粒被喷射，并落入储罐底部。