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MT2015

特点： 半导体：专为6英寸以上的工艺
工艺：SACVD，PECVD
/用于回旋效应的水平入口
/可能的现场维修
大检查窗口

规格： 进口旋流类型
总容积 15升^DN100
材质：SUS304 重量：18公斤
10-7Mbar检漏

此Trap设计成一个缓冲室，用于粉末从进气口掉入。 内盖打破固体块，部分工艺附着物沉积于此。 另一部分是泵顺利抽取。 这样，泵就可以很容易地处理和疏散粉末，延长泵的使用寿命。