产品中心 > YT 1025
1(1).png
  • 1(1).png
  • 2(1).png
  • 3(1).png

YT 1025

特点: 半导体:专为6英寸以上的工艺
工艺:SACVD,PECVD

规格: 进口旋流类型
总容积 25升^DN100
材质:SUS304 重量:39公斤
10-7Mbar检漏

此Trap的原理是基于气旋效应和水冷效应。 泵体的气体排出至Trap,内部挡板迫使流动围绕排气旋转。 由于离心力的作用,颗粒被喷射,并落入储罐底部。 同时,捕集器是水冷的,允许捕获也可冷凝的副产物。 由于内部线圈叶片提供了一个大的 热交换表面,流入的流量被冷却下来。 当目标气体成为固体时,内部温度下降到一个理想的值。